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        晶盛機(jī)電:公司8-12英寸大硅片設(shè)備基本實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化并批量交付

        2023-05-22 21:51:03

        晶盛機(jī)電近期披露投資者關(guān)系活動記錄表顯示,公司半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)分為以下三個領(lǐng)域:第一、大硅片,即8-12英寸大硅片;第二、特色工藝,即功率半導(dǎo)體設(shè)備;第三,先進(jìn)制程,即晶圓端相關(guān)設(shè)備。公司8-12英寸大硅片設(shè)備(長晶、切片、拋光以及CVD設(shè)備等)基本實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化并批量交付。功率半導(dǎo)體設(shè)備的外延設(shè)備及高溫爐管等設(shè)備也已批量交付。特別是碳化硅外延設(shè)備,出貨量已經(jīng)做到了國內(nèi)前列;在先進(jìn)制程領(lǐng)域,公司在12英寸減薄及外延(常壓外延、減壓外延)、LPCVD等設(shè)備進(jìn)行布局。此外,還有半導(dǎo)體材料,零部件,輔材耗材等相關(guān)的研發(fā)與布局。(界面)

        責(zé)編 陳鵬程

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