每經(jīng)訊，據(jù)啟信寶，新三板創(chuàng)新層公司海納股份（873995）新增專利信息，專利權(quán)人為海納股份，發(fā)明人是張慶旭、吳雄杰、肖春柳、聶早早、王志雄、白超、余天威、徐佳俊、劉偉、代明明。專利授權(quán)日為2023年6月23日，專利名稱為“一種可等距調(diào)節(jié)的半導(dǎo)體硅片夾持器”，專利類型為中國(guó)實(shí)用新型專利，專利申請(qǐng)?zhí)枮镃N202223164451.8。

該專利摘要顯示：本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)，涉及一種可等距調(diào)節(jié)的半導(dǎo)體硅片夾持器，包括主體支架，還包括設(shè)置于主體支架內(nèi)部的等距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，包括設(shè)置于主體支架頂面的調(diào)節(jié)螺母、與調(diào)節(jié)螺母螺紋連接且延伸到主體支架內(nèi)的調(diào)節(jié)螺絲以及連接于調(diào)節(jié)螺絲底端的第一導(dǎo)軌槽，主體支架底端于第一導(dǎo)軌槽正下方處固定有第二導(dǎo)軌槽，第二導(dǎo)軌槽底部連接有支撐架；設(shè)置于主體支架底部的用于夾取及釋放硅片的夾持機(jī)構(gòu)，包括若干等間距設(shè)置于支撐架底端的真空吸筆。本實(shí)用新型可以同時(shí)夾取和釋放多枚硅片，并且可以在夾取后對(duì)硅片間的距離進(jìn)行等距調(diào)節(jié)，期間不需單枚取放硅片，可以極大地增加工作效率，還可以有效避免硅片劃傷、擦傷。

(記者 曾健輝)

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