每經訊，據啟信寶，新三板創(chuàng)新層公司元泰智能（839156）新增專利信息，專利權人為元泰智能，發(fā)明人是賀競人、朱俊杰、杜王杰。專利授權日為2024年2月23日，專利名稱為“一種晶圓取料機構用密封驅動裝置”，專利類型為中國實用新型專利，專利申請?zhí)枮镃N202323584111.5。

該專利摘要顯示：本實用新型公開了一種晶圓取料機構用密封驅動裝置，其包括驅動模組以及將所述驅動模組包圍在內的防護殼體；所述驅動模組的活動末端設置有活動安裝板，所述防護殼體的側方設置有一條活動通槽，所述活動安裝板的一端伸入至所述防護殼體內固定在所述驅動模組的活動末端且另一端延伸伸出所述活動通槽，所述防護殼體內設置有隨所述活動安裝板隨動的遮塵帶，所述遮塵帶遮擋在所述活動通槽區(qū)域；所述防護殼體的底部設置有吸塵管，所述吸塵管連通吸塵裝置。本實用新型能夠有效的防止驅動裝置內部的機械結構因為摩擦而產生的粉塵外溢到外部而污染晶圓，大大提高了密封效果。

(記者 曾健輝)

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